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(1)台式洁净室洁净隧道
这种形式的洁净室洁净隧道是将洁净工作台相互连接在一起，并取消中间的侧壁，组成生产需要的隧道型生产线。当洁净室工艺要求垂直层流时，可选用垂直层流工作台。当工艺要求水平层流时，则选用水平层流工作台。相比较全室净化更易保证局部空间的高洁净度，并由于工作台相互连接，可以减少或防止交叉污染。此外，对建筑的要求比较简单，只要求具备乱流洁净室的环境即可。其缺点是洁净工作台的尺寸固定，使操作面缺乏足够的灵活性，洁净室工艺设备必须适应工作台的尺寸，调整起来也不大方便。
(2)棚式洁净室洁净隧道
棚式洁净隧道是将洁净棚，即棚式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。根据洁净室工艺要求，洁净棚的面积可以变化，空气可以全部为室内循环式，也可连通集中式净化空调系统，吸取部分新风。棚式洁净室洁净隧道适合于工艺设备较大的场所。当工业管道可以明装时，采用图a的形式，当工业管道必须暗装时，采用图b的形式。
(3)罩式洁净室洁净隧道
此种形式的洁净隧道是将层流罩，即罩式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。由于层流罩的进深比洁净棚小，只适用于工艺设备较小的洁净室。空气循环方式与棚式洁净隧道和台式洁净隧道相同，是目前采用较多的一种洁净室洁净隧道。
(4)集中送风式洁净室洁净隧道
集中送风式洁净隧道是由集中式送风系统的满布高效过滤器的静压箱所组成的。这种洁净隧道的层流工作区的宽度可依照洁净室工艺提出的要求确定，而不像台式、棚式和罩式洁净隧道那样，因局部净化设备的尺寸而限制层流工作区的宽度，设计可以更为灵活。洁净室采用这种形式时，回风可以通过技术夹道，也可像图这样，在乱流操作活动区设置地沟。此外，工业管道可布置在洁净室工作区的沿壁板一侧，排风管接至地沟。
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