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太阳能发电新能源硅晶片净化工程设计方案解决
发布时间：2021-06-19 01:43:43 | 作者： admin | 来源： 本站
太阳能发电新能源硅晶片是由光伏材料生产加工而成的一片片像浴室镜子一样明亮的圆片，是生产制造半导体材料集成电路芯片集成ic的原料。现阶段微电子技术产业链迅猛发展，集成电路芯片技术性已迈进0.18μm下列的时期，巨大地刺激性了太阳能发电新能源硅晶片的发展趋势，另外对太阳能发电新能源硅晶片的技术参数的规定也是有很大的提升，因而太阳能发电新能源硅晶片的发展前途十分开朗。
一、太阳能发电新能源硅晶片的生产制造生产流程
从大的层面而言，太阳能发电新能源硅晶片生产制造包含硅单晶棒生产制造和太阳能发电新能源硅晶片生产制造两绝大多数，细分化为下列几个关键工艺流程：单晶体棒生长发育-单晶体棒裁剪和检验-直径切削-切成片-倒圆角（圆边）-碾磨/碾磨片查验-蚀刻加工（有机化学蚀刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工艺）-PTA热处理工艺-反面损害解决-打磨抛光（ML粗抛、ML精抛）-清洗-质量查验-无尘包裝 从单晶体棒生长发育到直径切削为硅单晶棒生产制造工艺流程，切成片之后的步骤为太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程。详细介绍太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程的空气净化系统系统软件和自动化控制系统软件的方案设计。
二、空气净化系统系统软件
空气净化系统的设计方案是与加工工艺的合理布局、生产制造的步骤紧密融合的。不一样种类、不一样主要用途的工业厂房空气净化系统系统软件都各有特色，下边来详细介绍太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程的空气净化系统系统软件计划方案。
1、切成片室、倒圆角室、碾磨片室仅有温控规定，设风冷热泵分体式柜机空调机（PAC）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用两层百叶风口侧排风方法；空调室外机置放在平屋面上。切成片室的风量很大，新风系统选用立即挥发式热泵机组型房顶空调S1-1和S1-2来填补。生产车间有防污规定，风冷热泵分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器空气过滤网（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒），一样房顶式空调应设二级过滤装置。
2、炉室、BSD室仅有温控规定，设风冷电加热分体式柜机空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用正方形散流器顶排风方法；空调室外机置放在平屋面上。新风系统由邻近净化室正压力回来。生产车间有防污规定，风冷电加热分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒）。
3、磨光片诊断室有温度和环境湿度操纵规定，设风冷电加热分体式柜机空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用正方形散流器顶排风方法；空调室外机置放在平屋面上。新风系统经新风机组（MAU-1、2）解决后，引至排风管上送至房间内，空气湿度由新风机组来确保。新风机组是与净化设备同用的。生产车间有防污规定，风冷电加热分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒），新风机组下设粗、中效过滤器。
三、净化设备
太阳能发电新能源技术洁净工程 系统软件用的新风系统空调机组（MAU）和循环系统空调机组（AHU）的制冷剂采用6-11℃的冷藏水，加温采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的无尘蒸汽加湿，无尘蒸汽由纯水经无尘蒸汽产生器造成。
1、CP室净化处理等级为7级，换风取名为三十次/钟头，CP室工艺技术用酸量较多，采用全新风系统空调机组（MAU-3） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。其气旋步骤为：新风系统通道-初效过滤器-中效过滤器-预电加热器-翅片换热器-电加热器-无尘蒸汽加湿-通风机-排风管-高效送风口排风-洁净区。
2、ML室净化处理等级为7级，换风取名为三十次/钟头，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系统软件同用MAU-1、2新风系统组。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、无尘包裝间净化处理等级为6 级，换风取名为50次/钟头，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系统软件同用的MAU-1、2新风系统组。
4、7级、6 级的洁净室采用的气旋方式为顶端高效送风口正压送风口排风，屋子侧下百叶风口送风。其气旋步骤为：新送风混和!中效过滤器空气过滤网-翅片换热器-通风机-排风管-高效率空气过滤网正压送风口-洁净区-屋子侧下百叶窗送风口-回通风风管-新送风混和。
5、清洗室、质量诊断室净化处理等级为7 级，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 离心风机过滤装置模块（FFU )）的中央空调方法。采用的气旋方式为顶端FFU排风，屋子侧下百叶风口送风。FFU布满率是33%，清洗室、质量诊断室对NH4 、SQx浓度值有规定，需要在循环系统发电机组（AHU）内加设有机化学过滤装置。5级净化处理间的气旋步骤为：新送风混和-有机化学过滤装置（NH4 ）-有机化学过滤装置（SQx）-中效过滤器-翅片换热器-通风机-排风管-排风静压箱-离心风机过滤装置模块（FFU）-洁净区-屋子侧下百叶窗送风口-回通风风管-新送风混和。新风系统接自其他系统软件同用的MAU-1、2新风系统组。
6、除CP户外的净化室所需新风系统采用2台新风机组（MAU-1、2）集中化运输，新风系统集中化运输后送至各循环系统发电机组（AHU）。其气旋步骤为：新风系统通道-初效过滤器-中效过滤器-预电加热器-翅片换热器-电加热器-无尘蒸汽加湿-通风机-排风管-各循环系统空调机组（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相对性较多，CP室、ML房间内的高效送风口正压送风口的扩散板需采用不锈钢板材制做，清洗房间内的FFU的钢网需采用不锈钢板材制做。
8、另特别注意，质量诊断室依据加工工艺规定需采用灰黑色板墙、灰黑色现浇板，相对应采用灰黑色送风口，FFU的钢网需采用灰黑色钢网。
四、净化设备的中央空调自动控制系统
新风机组（MAU-1、2）采用变频式离心风机，由总排风管上的负压感应器来操纵变频调速器。在连接每一个排风量及正压力操纵循环系统发电机组（AHU）的新风系统管上均设定电动蝶阀，由各净化室的正压力值来调整电动蝶阀的开启度，使净化室的正压力值不随生产线设备的风量的转变而转变，电动蝶阀的开启度转变造成总排风管上的负压转变，依据其预设值调整AHU-1、2的离心风机頻率，以做到操纵目地。
1、净化车间/净化车间的温度湿度操纵
净化处理生产制造净化车间的环境湿度是由新风机组MAU-1、2来确保，操纵新风机组排风情况点，依据排风情况预设值来调整干蒸气空气加湿器的电动式执行器和翅片换热器及电加热器回水管上的电动二通阀的开启度。含湿量DPT由查验室内湿度光敏电阻器HE持续整定值。净化处理生产制造净化车间的溫度是由循环系统发电机组AHU来确保的，依据室温来调整翅片换热器回水管上的电动二通阀的开启度。
2 、制冷控制系统
冷藏水系统软件层面选用一级泵，用负载操纵的方式 来明确制冷机组及相对应离心水泵、玻璃钢冷却塔的打开数量。依据设置供、智能回水压力差来自动控制系统供、智能回水负责人中间压力差总流量进气阀。
一、太阳能发电新能源硅晶片的生产制造生产流程
从大的层面而言，太阳能发电新能源硅晶片生产制造包含硅单晶棒生产制造和太阳能发电新能源硅晶片生产制造两绝大多数，细分化为下列几个关键工艺流程：单晶体棒生长发育-单晶体棒裁剪和检验-直径切削-切成片-倒圆角（圆边）-碾磨/碾磨片查验-蚀刻加工（有机化学蚀刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工艺）-PTA热处理工艺-反面损害解决-打磨抛光（ML粗抛、ML精抛）-清洗-质量查验-无尘包裝 从单晶体棒生长发育到直径切削为硅单晶棒生产制造工艺流程，切成片之后的步骤为太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程。详细介绍太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程的空气净化系统系统软件和自动化控制系统软件的方案设计。
二、空气净化系统系统软件
空气净化系统的设计方案是与加工工艺的合理布局、生产制造的步骤紧密融合的。不一样种类、不一样主要用途的工业厂房空气净化系统系统软件都各有特色，下边来详细介绍太阳能发电新能源硅晶片生产制造工艺流程的空气净化系统系统软件计划方案。
1、切成片室、倒圆角室、碾磨片室仅有温控规定，设风冷热泵分体式柜机空调机（PAC）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用两层百叶风口侧排风方法；空调室外机置放在平屋面上。切成片室的风量很大，新风系统选用立即挥发式热泵机组型房顶空调S1-1和S1-2来填补。生产车间有防污规定，风冷热泵分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器空气过滤网（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒），一样房顶式空调应设二级过滤装置。
2、炉室、BSD室仅有温控规定，设风冷电加热分体式柜机空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用正方形散流器顶排风方法；空调室外机置放在平屋面上。新风系统由邻近净化室正压力回来。生产车间有防污规定，风冷电加热分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒）。
3、磨光片诊断室有温度和环境湿度操纵规定，设风冷电加热分体式柜机空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，选用正方形散流器顶排风方法；空调室外机置放在平屋面上。新风系统经新风机组（MAU-1、2）解决后，引至排风管上送至房间内，空气湿度由新风机组来确保。新风机组是与净化设备同用的。生产车间有防污规定，风冷电加热分体式柜机空调机送风口处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒），新风机组下设粗、中效过滤器。
三、净化设备
太阳能发电新能源技术洁净工程 系统软件用的新风系统空调机组（MAU）和循环系统空调机组（AHU）的制冷剂采用6-11℃的冷藏水，加温采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的无尘蒸汽加湿，无尘蒸汽由纯水经无尘蒸汽产生器造成。
1、CP室净化处理等级为7级，换风取名为三十次/钟头，CP室工艺技术用酸量较多，采用全新风系统空调机组（MAU-3） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。其气旋步骤为：新风系统通道-初效过滤器-中效过滤器-预电加热器-翅片换热器-电加热器-无尘蒸汽加湿-通风机-排风管-高效送风口排风-洁净区。
2、ML室净化处理等级为7级，换风取名为三十次/钟头，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系统软件同用MAU-1、2新风系统组。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、无尘包裝间净化处理等级为6 级，换风取名为50次/钟头，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系统软件同用的MAU-1、2新风系统组。
4、7级、6 级的洁净室采用的气旋方式为顶端高效送风口正压送风口排风，屋子侧下百叶风口送风。其气旋步骤为：新送风混和!中效过滤器空气过滤网-翅片换热器-通风机-排风管-高效率空气过滤网正压送风口-洁净区-屋子侧下百叶窗送风口-回通风风管-新送风混和。
5、清洗室、质量诊断室净化处理等级为7 级，采用新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 离心风机过滤装置模块（FFU )）的中央空调方法。采用的气旋方式为顶端FFU排风，屋子侧下百叶风口送风。FFU布满率是33%，清洗室、质量诊断室对NH4 、SQx浓度值有规定，需要在循环系统发电机组（AHU）内加设有机化学过滤装置。5级净化处理间的气旋步骤为：新送风混和-有机化学过滤装置（NH4 ）-有机化学过滤装置（SQx）-中效过滤器-翅片换热器-通风机-排风管-排风静压箱-离心风机过滤装置模块（FFU）-洁净区-屋子侧下百叶窗送风口-回通风风管-新送风混和。新风系统接自其他系统软件同用的MAU-1、2新风系统组。
6、除CP户外的净化室所需新风系统采用2台新风机组（MAU-1、2）集中化运输，新风系统集中化运输后送至各循环系统发电机组（AHU）。其气旋步骤为：新风系统通道-初效过滤器-中效过滤器-预电加热器-翅片换热器-电加热器-无尘蒸汽加湿-通风机-排风管-各循环系统空调机组（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相对性较多，CP室、ML房间内的高效送风口正压送风口的扩散板需采用不锈钢板材制做，清洗房间内的FFU的钢网需采用不锈钢板材制做。
8、另特别注意，质量诊断室依据加工工艺规定需采用灰黑色板墙、灰黑色现浇板，相对应采用灰黑色送风口，FFU的钢网需采用灰黑色钢网。
四、净化设备的中央空调自动控制系统
新风机组（MAU-1、2）采用变频式离心风机，由总排风管上的负压感应器来操纵变频调速器。在连接每一个排风量及正压力操纵循环系统发电机组（AHU）的新风系统管上均设定电动蝶阀，由各净化室的正压力值来调整电动蝶阀的开启度，使净化室的正压力值不随生产线设备的风量的转变而转变，电动蝶阀的开启度转变造成总排风管上的负压转变，依据其预设值调整AHU-1、2的离心风机頻率，以做到操纵目地。
1、净化车间/净化车间的温度湿度操纵
净化处理生产制造净化车间的环境湿度是由新风机组MAU-1、2来确保，操纵新风机组排风情况点，依据排风情况预设值来调整干蒸气空气加湿器的电动式执行器和翅片换热器及电加热器回水管上的电动二通阀的开启度。含湿量DPT由查验室内湿度光敏电阻器HE持续整定值。净化处理生产制造净化车间的溫度是由循环系统发电机组AHU来确保的，依据室温来调整翅片换热器回水管上的电动二通阀的开启度。
2 、制冷控制系统
冷藏水系统软件层面选用一级泵，用负载操纵的方式 来明确制冷机组及相对应离心水泵、玻璃钢冷却塔的打开数量。依据设置供、智能回水压力差来自动控制系统供、智能回水负责人中间压力差总流量进气阀。
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