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要达到广东10万级净化车间要求，要进行的工艺处理措施：

1、广东净化车间空调系统必须经过初效、中效、高效这三级过滤处理的净化空调系统。要保证送入室内的空气是洁净空气，能对室内污染空气进行稀释。因此空气是10万级净化车间要求中的一个重点。

室内保证一定的压力，达到10万级净化车间要求，这是为了防止无尘室内的空气受外界空气干扰。一般工业洁净室要求室内与室外的压差值为5-10Pa。

2、要达到10万级净化车间要求，建筑围护结构必须保证气密性良好，建筑表面光滑，不产尘、不积尘、不泄露。

在10万级净化车间中，如果新风量不足，工作人员将有气闷、头晕等不舒适的症状发生。为了满足工作人员的卫生要求，保证工作效率，洁净室中要供给足量的新风。为了补偿净化车间中的工艺设备排风，10万级净化车间要求补偿相应的新风。

3、为了保证净化车间的洁净度免受邻室或外界的污染以及净化车间中的产品或产品生产过程的致敏性物质等对邻室的影响，10万级净化车间要求维持一定的压差值，这也需要新风的补充。

为了保持净化空调系统的空气平衡，应净化工作台补充与排气量(包括局部排风、全室排风)相同或略多于排风量的新风量。有的产品生产过程或生产环境净化系统的空气，如经处理仍不可避免交叉污染时，则不应循环使用，需采用直流系统，即净化空调系统不能回风，10万级净化车间要求全部采用新风补充。